Master-BN300是一款基于行业前沿需求开发的12英寸晶圆边沿细密抛光装备。。。该装备集成高精度抛光、高效洗濯和精准量测功效 ，，，， ，，接纳模 ？？？ ？ ？榛杓 ，，，， ，，兼容多种工艺和应用领域的需求。。。 ？？？ ？ ？上灾嵘г脖哐氐墓饨喽 ，，，， ，，知足半导体制造领域对高精度边沿处置惩罚的手艺要求 ，，，， ，，并已在存储芯片、先进封装等要害制程中获得应用。。。
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更高的抛光效率与外貌光洁度
有用提升晶圆边沿清洁度与产品良率
高精怀抱测系统对抛光效果做在线检测和评价