HSC-I2402应用于4/6/8英寸化合物半导体质料的历程洗濯。。。。。。。该装备基于龙八long8自主知识产权的立异手艺,,,,配备性能优越的单片洗濯机模??楹退嫠⑾茨???,,,,集成多种化学药液,,,,并搭载先进的物理洗濯要领,,,,展现出更卓越的清洁效果。。。。。。。该装备知足多种化合物半导体质料的需求,,,,已在化合物半导体领域批量应用。。。。。。。
装备自动兼容4/6/8英寸晶圆的洗濯
知足干进干出和湿进干出两种模式
更好的晶圆夹持方法
具备双面刷洗和双面洗濯功效,,,,更高效、更便捷
设置无邪,,,,更好洗濯效果