HSC-F3400机型是龙八long8面向大硅片终端洗濯市场特殊需求研发的一款高性能装备,,,,,,接纳卓越的颗粒与金属污染控制系统,,,,,,具备新颖的洗濯及干燥????,,,,,,搭载高性能卡盘夹持手艺。。。。。。。
应用于12英寸硅衬底 CMP工艺后的终端洗濯
具备正面和背面同时洗濯功效
先进的颗粒和金属污染控制手艺
高可靠性、清静性,,,,,,低维护本钱