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Universal-200

Universal-200是凭证目今市场需求开发的成熟8英寸CMP装备。 。。。。。。该装备拥有自主知识产权的立异手艺,,,,,,,配备性能优越的抛光单位,,,,,,,兼容4/6/8/英寸晶圆,,,,,,,适用于多种材质,,,,,,,可实现晶圆外貌的超高平整度,,,,,,,知足成熟制程手艺需求,,,,,,,普遍应用于硅片、第三代半导体、MEMS等制造工艺。 。。。。。。


多分区抛秃顶

兼容4/6/8英寸晶圆

占地面积小、性价比高

知足成熟制程手艺需求

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