Universal-300 B 是基于龙八long8自主知识产权的立异手艺开发的12英寸CMP装备 。。 。。。。。该装备配备性能优越的抛光单位，，，，，，兼容4/6/8/12英寸晶圆，，，，，，适用于多种材质，，，，，，可实现晶圆外貌的超高平整度，，，，，，占地面积小、性价比高，，，，，，知足成熟制程手艺需求，，，，，，已在硅片、第三代半导体、MEMS等制造工艺中批量应用 。。 。。。。。
多分区抛秃顶
兼容4/6/8/12英寸晶圆
产品干进湿出
占地面积小，，，，，，性价比高
知足成熟制程手艺需求
用于Oxide/SiN/STI/Poly/Cu/W等CMP制程